Ультратонкая кварцевая пластина для полупроводников

Параметр

Стандартная спецификация

Материалы

Плавленый кварц(JGS1/JGS2/JGS3), Borofloat33, D263t, B270i,

Corning 7980, Corning Eagle XG и т. д.

Диаметр

2", 3", 4", 6", 8", 12" и квадратный

Толщина

0,1-3,0 мм

ТТВ

Стандарт < 10 мкм, максимальные возможности<1 um

Поклон

Стандарт < 60 мкм, максимальные возможности<30 um

Деформация

Стандарт < 60 мкм, максимальные возможности<30 um

Поверхность

ДСП, ССП

Шероховатость (Ра)

Стандартный Ра< 1nm, Maximum Capabilities <0.5nm

S/D

Стандарт 60/40, максимальные возможности 20/10

Примечание

Индивидуальные доступны

Физические свойства

Ценности

Чистота

＞99.99%

Плотность

2,2 г/см³

Прозрачность

＞90%

Твердость по Моосу

5.5--6.5

Точка деформации

1280 градусов

Точка размягчения

1750 градусов

Точка отжига

1250 градусов

Удельная теплоемкость (20 - 350 градусов)

670Дж/кг. степень

Теплопроводность (20 градусов)

1,4 Вт/м. степень

Теплопроводность (мк, 1000 градусов)

1.0-1.2

Индекс преломления

1.4585

Коэффициент теплового расширения

5.5*10 ^-7см/см. степень

Горячая - рабочая температура

1750--2050 градусов

Краткосрочная - температура эксплуатации

1450 градусов

Долгосрочная температура эксплуатации -

1100 градусов

Химические свойства

Ценности

Кислотостойкий

Сильная кислота (кроме HF), сильная щелочь, органический раствор

Высокие температуры Устойчивость к коррозии

Отличный

Содержание металлических примесей

<5 частей на миллион

Электрические свойства

Ценности

Удельное сопротивление

7*10⁷Ом.см

Прочность изоляции

250~400кВ/см

Диэлектрическая проницаемость

3.7~3.9

Коэффициент диэлектрической абсорбции

＜4*10^-4

Коэффициент диэлектрических потерь

＜1*10^-4

Механические свойства

Ценности

Прочность на сжатие

1100МПа

прочность на изгиб

67МПа

Предел прочности

48МПа

Коэффициент Пуассона

0.14~0.17

Модуль Юнга

72000МПа

Модуль сдвига

31000МПа