Лодочка для очистки кварцевых пластин
Лодочка для очистки кварцевых пластин — это устройство, используемое для очистки пластин в процессе производства полупроводников.
Материал: 99,99% кварц.
Описание
Функции
- Высокая термостойкость
- Коррозионная стойкость
- Износостойкость
- Легко чистить
Использование: удаление поверхностных загрязнений.
Обеспечить качество изготовления полупроводниковых чипов.
Приложение
1. Предварительная-диффузионная очистка
Используется для транспортировки пластин через мокрый стенд или этапы очистки погружением (например, очистка RCA) для удаления органических, металлических и твердых примесей перед процессами высоко-диффузии или окисления.
2. Очистка после-CMP (химико-механической планаризации).
Удерживает пластины во время очистки после-полировки, устраняя остатки суспензии и поверхностные дефекты, обеспечивая оптимальную плоскостность для последующих этапов литографии.
3. Изготовление-начальной-линии-линии (FEOL)
Используется на критических этапах очистки FEOL, где требуются сверх-чистые поверхности для выращивания оксидов под затвором, эпитаксиального осаждения или ионной имплантации.
4. Обработка задней-конца--строки (BEOL)
Поддерживает пластины во время очистки после-травления или-осаждения для удаления фоторезиста, побочных продуктов травления и металлических примесей после формирования межсоединений.
5. Расширенная упаковка
Облегчает очистку-на уровне пластин перед нарезкой кубиками или склеиванием в корпусах 2,5D/3D микросхем, обеспечивая-чистые интерфейсы для надежных межсоединений.
6. Фотоэлектрическое производство
Используется в производстве солнечных элементов для очистки кремниевых подложек, улучшения качества поверхности, улучшения поглощения света и эффективности преобразования энергии.
Характеристики
|
Физические свойства |
Ценности |
|
Чистота |
＞99.99% |
|
Плотность |
2,2 г/см3 |
|
Прозрачность |
＞90% |
|
Твердость по Моосу |
5.5--6.5 |
|
Точка деформации |
1280 градусов |
|
Точка размягчения |
1750 градусов |
|
Точка отжига |
1250 градусов |
|
Удельная теплоемкость (20 - 350 градусов) |
670Дж/кг. степень |
|
Теплопроводность (20 градусов) |
1,4 Вт/м. степень |
|
Теплопроводность (мк, 1000 градусов) |
1.0-1.2 |
|
Индекс преломления |
1.4585 |
|
Коэффициент теплового расширения |
5.510 -7см/см. степень |
|
Горячая - рабочая температура |
1750--2050 градусов |
|
Краткосрочная - температура эксплуатации |
1450 градусов |
|
Долгосрочная температура эксплуатации - |
1100 градусов |
|
Химические свойства |
Ценности |
|
Кислотостойкий |
Сильная кислота (кроме HF), сильная щелочь, органический раствор |
|
Высокие температуры Устойчивость к коррозии |
Отличный |
|
Содержание металлических примесей |
<5 частей на миллион |
|
Электрические свойства |
Ценности |
|
Удельное сопротивление |
7107Ом.см |
|
Прочность изоляции |
250~400кВ/см |
|
Диэлектрическая проницаемость |
3.7~3.9 |
|
Коэффициент диэлектрической абсорбции |
＜410-4 |
|
Коэффициент диэлектрических потерь |
＜110-4 |
|
Механические свойства |
Ценности |
|
Прочность на сжатие |
1100МПа |
|
прочность на изгиб |
67МПа |
|
Предел прочности |
48МПа |
|
Коэффициент Пуассона |
0.14~0.17 |
|
Модуль Юнга |
72000МПа |
|
Модуль сдвига |
31000МПа |
Методы очистки
Очистка погружением:
Поместите пластину в лодочку для очистки, затем погрузите лодочку для очистки в чистящую жидкость и увеличьте контакт между чистящей жидкостью и поверхностью пластины, подняв лодочку для очистки, чтобы улучшить эффект очистки.
Очистка распылением:
Установите лодочку для очистки вертикально в камере распыления и с помощью насадки распылите чистящую жидкость на поверхность пластины, чтобы удалить загрязнения.
Важность чистки лодок:
- Обеспечьте чистоту пластин. Чистая поверхность пластин имеет решающее значение для качества производства полупроводниковых чипов, а лодочка для очистки играет жизненно важную роль в процессе очистки.
- Обеспечьте надежность полупроводниковых чипов. Обеспечьте надежность чипов и уменьшите дефекты продукции за счет удаления поверхностных загрязнений.
- Улучшите выход полупроводниковых чипов: улучшите чистоту пластин, тем самым улучшив выход полупроводниковых чипов.
горячая этикетка : Лодка для очистки кварцевых пластин, Китайские лодки для очистки кварцевых пластин производители, поставщики, завод
Отправить запрос
Вам также может понравиться
