Синтетический кварцевый песок 7N класса вошел в массовое производство!

В течение долгого времени цепочка полупроводниковой промышленности моей страны в значительной степени зависит от импорта для кварцевого песка с высокой точкой зрения 7N класса, используемого в расширенных процессах производства полупроводников. Это было ключевым узким местом в отраслевой цепочке. По мере того, как технология чипов продолжает развиваться, передовые процессы ставят чрезвычайно строгие требования к чистоте, однородности и стабильности кварцевого субстрата.

Недавно китайская кварцевая фабрика достигла значительного технологического скачка от естественной очистки кварцевой руды до химического синтеза высокой чистоты. Они создали комплексную технологическую цепочку, включающую технологию предшественников, процессы химического синтеза, разработку основного оборудования и проверку применения. Они успешно разработали и производили массовый 7N классовый (99,99999%) синтетический кварцевый песок с общим специфическим примесей менее чем 20 ppb, с полностью независимыми правами на интеллектуальную собственность. Этот синтетический песок используется в производстве КВАРТ-тиглей, фотолитографии и процессов травления и травления, среди других ключевых процессов.

Этот успех не случайно. Компания неуклонно накопила опыт в синтезе кварцевых способностей высокой чистоты, разработала различные передовые технологии для контроля процесса и приоритетная детальная оптимизация, такая как контроль чистоты сырья, удаление остаточного материала, контроль размера частиц, технология дисперсии и процессы легирования. Эти технологии были преобразованы в конкурентные патенты.

Процесс синтеза с высокой чистотой песком из тетрахлорида кремния с помощью гидролиза с жидкостью фазы

Это изобретение раскрывает процесс синтеза кварцевого песка с высокой чистотой из кремниевого тетрахлорида с помощью гидролиза с жидко-фазой. Процесс включает в себя гидролиз жидкости кремниевого тетрахлорида с водой. Продукт подвергается промыванию, сплошной жидкости, сушке, прокаливанию, шлифованию и скринингу для получения высокочистого кварцевого порошка. Стадия нагрева включена во время разделения твердых жидкостей, между промывшим и твердое жидким разделением или во время промывки, чтобы способствовать разложению ортосилической кислоты в метазилискую кислоту, облегчить перенос и очистку и уменьшить отходы сырья. Температура сушки составляет 100-200 градусов, а температура прокала составляет 1300-1500 градусов. Конструкция кальцинирующей печи оптимизирована для обеспечения равномерного нагрева и предотвращения агломерации порошка.

Процесс подготовки сверхвысокой грузовичной аморфной кремнезема, синтезированный кварцевый песок

Это изобретение раскрывает процесс подготовки сверхвысокой аморфного кремнезема, синтезированного кварцевым песком. Процесс включает в себя высокотемпературную и реакцию высокого давления аморфного кремнезема, минерализатора и ультрачистой воды с последующим разделением твердого жидкости во время разгрузки. Затем продукт заземляют, промывают кислотами, очищают и высушают для получения продукта. В этом процессе используется давление реактора для достижения солидного жидкого разделения во время разгрузки, экономия затрат. Он также использует аморфный кремнезем, обладающий высокой и контролируемой чистотой, облегчая нехватку высококачественной кварцевой руды в моей стране. Полученный кварцевый песок имеет низкое содержание алюминия и низкое общее количество девяти примесей.

Синтетический кварцевый процесс полупроводникового класса

Этот процесс приготовления синтетического кварца полупроводникового класса включает в себя четыре этапа: подготовка материала, удаление нечистоты, обмен ионов и очистка старения. Подготовка материала включает в себя добавление силиката щелочного металла в оборудование и растворение и разбавление его чистой водой средней температуры. Снятие нечистоты включает в себя добавление снятия примесей, перемешивание, позволяя смеси оседать, и фильтрацию для отделения гидроксидов тяжелых металлов и раствора, который будет обменен. Ионовый обмен включает в себя передачу решения, которое будет обменено через сильную акисловую катионную обменную колонку для удаления ионов кальция и натрия, что приводит к соль. Очистка старения включает в себя разрешение Sol для создания первоначального геля, который затем подвергается старению, промывке, сушке, пульверизации, спеканию и очистке сверхвысокой трудовой промышленности для получения продукта. Этот процесс использует интегрированное оборудование для повышения автоматизации и эффективности.